國內首條12英寸晶圓再生生產線在肥實現量產

  人民網合肥7月15日電(張俊) 7月15日上午,經過一年多時間的建設、調試,國內首個立項的十二英寸晶圓再生項目——合肥至微半導體有限公司實現量產。該項目填補了合肥集成電路產業鏈又一空白,全面達產后可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件半導體零部件再生產能。

  “晶圓再生”,指通過去除損耗控擋片表面的雜質和缺陷,使處理后的晶圓達到新片的標准,實現循環利用,進而為企業節約大量成本。

  合肥至微項目位於合肥新站高新區,項目總投資近10億元,是至純科技旗下半導體晶圓再生和部件再生項目載體。上海至純科技董事長蔣淵告訴人民網安徽頻道,合肥至微晶圓再生項目以14納米晶圓廠需求為設計基礎,能服務於中國先進制程晶圓廠的需求。此前,國內高階的晶圓再生需求都要送到日本、中國台灣等地處理,隨著合肥至微晶圓再生項目的成功量產,如今在合肥新站高新區就可以滿足高階晶圓再生需求。

  合肥至微半導體有限公司董事長廖世保表示,與傳統的晶圓再生技術相比,合肥至微項目採用了最新一代技術,可以實現晶圓再生六次到七次,這將為企業節約不少成本。目前,合肥至微項目的產能已基本已被下游客戶預定,可以覆蓋到合肥當地的長鑫、晶合、以及周邊的無錫、南京、武漢的晶圓廠。

  作為合肥市“芯屏”產業的“主陣地”,目前,新站高新區已經成為全國規模最大、技術方向最齊全的新型顯示產業基地。合肥至微項目成功量產,將成為國內最早具備12英寸晶圓再生及關鍵設備零部件再生能力的項目之一,這不僅為合肥集成電路產業鏈添上重要一環,也為產業高質量發展注入了新的動力。

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